Պիեզորեզիստիվ սենսորի կառուցվածքը

Այս սենսորում ռեզիստորի ժապավենը ինտեգրման գործընթացով ինտեգրված է մոնոբյուրեղային սիլիցիումի դիֆրագմայի վրա՝ սիլիցիումի պիեզորակայուն չիպ ստեղծելու համար, և այս չիպի ծայրամասը ֆիքսված է կեղևի մեջ, և էլեկտրոդների լարերը դուրս են բերվում:Պիեզորեզիստիվ ճնշման սենսորը, որը նաև հայտնի է որպես պինդ վիճակի ճնշման սենսոր, տարբերվում է կպչուն լարման չափիչից, որը պետք է անուղղակիորեն զգա արտաքին ուժը առաձգական զգայուն տարրերի միջոցով, բայց ուղղակիորեն զգում է չափված ճնշումը սիլիկոնային դիֆրագմայի միջոցով:

Սիլիկոնային դիֆրագմայի մի կողմը բարձր ճնշման խոռոչ է, որը հաղորդակցվում է չափված ճնշման հետ, իսկ մյուս կողմը ցածր ճնշման խոռոչ է, որը հաղորդակցվում է մթնոլորտի հետ:Ընդհանուր առմամբ, սիլիկոնային դիֆրագմը նախագծված է որպես ֆիքսված ծայրամասով շրջան, և տրամագծի և հաստության հարաբերակցությունը մոտ 20 ~ 60 է: Չորս P կեղտոտ դիմադրության ժապավեններ ցրված են շրջանաձև սիլիկոնային դիֆրագմայի վրա և միացված են ամբողջական կամրջի մեջ, որոնցից երկուսը: գտնվում են սեղմման լարվածության գոտում, իսկ մյուս երկուսը գտնվում են առաձգական լարվածության գոտում, որոնք սիմետրիկ են դիֆրագմայի կենտրոնի նկատմամբ:

Բացի այդ, կան նաև քառակուսի սիլիկոնային դիֆրագմա և սիլիկոնային սյունակի սենսոր:Սիլիկոնային գլանաձև սենսորը նույնպես պատրաստված է դիմադրողական շերտերից՝ սիլիցիումի մխոցի բյուրեղային հարթության որոշակի ուղղությամբ դիֆուզիայի միջոցով, և երկու առաձգական սթրեսի դիմադրողական ժապավենները և երկու սեղմման սթրեսի դիմադրողական ժապավենները կազմում են ամբողջական կամուրջ:

Պիեզորեզիստիվ սենսորը կիսահաղորդչային նյութի ենթաշերտի վրա դիֆուզիոն դիմադրությամբ պատրաստված սարք է՝ ըստ կիսահաղորդչային նյութի պիեզորակայուն ազդեցության:Դրա ենթաշերտը կարող է ուղղակիորեն օգտագործվել որպես չափիչ սենսոր, իսկ դիֆուզիոն դիմադրությունը միացված է ենթաշերտի մեջ կամրջի տեսքով։

Երբ ենթաշերտը դեֆորմացվում է արտաքին ուժից, դիմադրության արժեքները կփոխվեն, և կամուրջը կստեղծի համապատասխան անհավասարակշիռ արդյունք:Որպես պիեզորեզիստիվ սենսորներ օգտագործվող ենթաշերտերը (կամ դիֆրագմերը) հիմնականում սիլիկոնային վաֆլիներն են և գերմանիումի վաֆլիները:Սիլիկոնային պիեզորակայուն սենսորները, որոնք պատրաստված են սիլիցիումային վաֆլիներից, որպես զգայուն նյութեր, ավելի ու ավելի մեծ ուշադրություն են գրավում, հատկապես ճնշումը և արագությունը չափելու համար պիեզրակայուն սենսորները ամենաշատ օգտագործվողն են: