Կիրառելի է Passat վառելիքի ընդհանուր ռելսային ճնշման ցուցիչ 06E906051K

1. Ճնշման սենսորի ձևավորման մեթոդ, որը ներառում է.

Կիսահաղորդչային ենթաշերտի ապահովում, որտեղ կիսահաղորդչային հիմքի վրա ձևավորվում են առաջին միջշերտային դիէլեկտրական շերտը, առաջին միջշերտային դիէլեկտրական շերտը և երկրորդ միջշերտային դիէլեկտրական շերտը:

Ստորին էլեկտրոդի ափսե առաջին միջշերտային դիէլեկտրական շերտում, առաջին փոխադարձ էլեկտրոդը, որը գտնվում է նույն շերտի վրա, ինչ ստորին էլեկտրոդի թիթեղը և միմյանցից հեռու:

Միացնող շերտեր;

Ստորին բևեռային ափսեի վերևում զոհաբերական շերտի ձևավորում;

Առաջին միջշերտային դիէլեկտրական շերտի, առաջին փոխկապակցման շերտի և զոհաբերական շերտի վրա վերին էլեկտրոդային թիթեղ ձևավորելը.

Զոհաբերական շերտը կազմելուց հետո և վերին թիթեղը կազմելուց հետո՝ առաջին փոխկապակցման շերտում

Միացման ակոս ձևավորելը և միացման ակոսը վերին թիթեղով լցնելը առաջին փոխկապակցման շերտի հետ էլեկտրական միացման համար. Կամ,

Վերին էլեկտրոդային թիթեղը ձևավորելուց հետո վերին էլեկտրոդային թիթեղում և փոխկապակցման առաջին շերտում ձևավորվում են միացնող ակոսներ, որոնք.

Վերին էլեկտրոդի թիթեղը և առաջին փոխկապակցման շերտը միացնող ակոսում միացնող հաղորդիչ շերտի ձևավորում.

Վերին թիթեղը և առաջին փոխկապակցման շերտը էլեկտրականորեն միացնելուց հետո զոհաբերական շերտը հանելով՝ ձևավորվում է խոռոչ։

2. Ճնշման ցուցիչի ձևավորման մեթոդը ըստ պահանջի 1-ի, որտեղ առաջին շերտում

Միջշերտային դիէլեկտրական շերտի վրա զոհաբերական շերտի ձևավորման մեթոդը ներառում է հետևյալ քայլերը.

Առաջին միջշերտային դիէլեկտրիկ շերտի վրա զոհաբերական նյութի շերտի տեղադրում;

Զոհաբերական նյութի շերտի ձևավորում՝ զոհաբերական շերտ ձևավորելու համար:

3. Ճնշման սենսորի ձևավորման մեթոդը՝ համաձայն պահանջի 2-ի, որտեղ օգտագործվում են ֆոտոլիտոգրաֆիա և փորագրություն։

Զոհաբերական նյութի շերտը ձևավորվում է փորագրման գործընթացով:

4. Ճնշման սենսորի ձևավորման մեթոդը ըստ պահանջի 3-ի, որտեղ զոհաբերական շերտը

Նյութը ամորֆ ածխածին է կամ գերմանիում։

5. Ճնշման սենսորի ձևավորման մեթոդը ըստ պահանջի 4-ի, որտեղ զոհաբերական շերտը

Նյութը ամորֆ ածխածին է;

Զոհաբերական նյութի շերտի փորագրման գործընթացում օգտագործվող փորագրող գազերը ներառում են O2, CO, N2 և Ar;

Զոհաբերական նյութի շերտի փորագրման գործընթացի պարամետրերն են՝ O2-ի հոսքի միջակայքը 18 SCCM ~ 22 SCCM է, իսկ CO-ի հոսքի արագությունը 10% է։

Հոսքի արագությունը տատանվում է 90 SCCM-ից մինչև 110 SCCM, N2-ի հոսքի արագությունը տատանվում է 90 SCCM-ից մինչև 110 SCCM, իսկ հոսքի արագությունը՝ Ar-ի:

Շրջանակը 90 SCCM ~ 110 SCCM է, ճնշման միջակայքը՝ 90 mtor ~ 110 mtor, իսկ կողմնակալության հզորությունը՝

540w-660w.