Կիրառելի է Passat վառելիքի ընդհանուր երկաթուղային ճնշման ցուցիչ 06E906051K

1-ը. Պարբերական ցուցիչ ձեւավորելու մեթոդ, որը բաղկացած է.

Կիսահաղորդչային հիմքի ապահովում, որի միջոցով կիսակառույց դիէլեկտրիկ առաջին փոխկապակցված երկխոսական շերտը եւ երկրորդ ինտերլյեր դիէլեկտրական շերտը ձեւավորվում են կիսահաղորդչային ենթաշերտի վրա:

Առաջին ինտերվոնային ափսե առաջին Interlayer Delectric շերտում, նույն շերտի առաջին փոխադարձ էլեկտրոդը, որը գտնվում է նույն շերտի վրա, որքան էլեկտրոդի ստորին ափսեը եւ հեռավորությունը:

Միացնող շերտեր;

Ստորին բեւեռային ափսեի վերեւում զոհաբերական շերտ ձեւավորելը.

Առաջին փոխկապակցված դիէլեկտրիկ շերտի վրա վերին էլեկտրոդի ափսե ձեւավորելը, առաջին փոխկապակցման շերտը եւ զոհաբերական շերտը.

Զոհաբերական շերտը ձեւավորելուց եւ վերին ափսե ձեւավորելուց առաջ, առաջին փոխկապակցման շերտում

Կապի ակոս ձեւավորելը եւ կապը լցնում վերին ափսեի մեջ `էլեկտրական միացման առաջին փոխկապակցման շերտի հետ. Կամ,

Վերին էլեկտրոդի ափսե ձեւավորելուց հետո ակոսների միացումը ձեւավորվում է վերին էլեկտրոդի ափսեի եւ առաջին փոխկապակցման շերտում, որը

Վերին էլեկտրոդի ափսեը եւ միացման առաջին փոխկապակցման շերտը կապող հաղորդիչ շերտ ձեւավորելը.

Վերին ափսեը եւ առաջին փոխկապակցման շերտը էլեկտրականացնելուց հետո զոհաբերական շերտը հեռացնելով խոռոչ կազմելու համար:

2-ը: Pressure նշման ցուցիչ ձեւավորելու մեթոդը `ըստ պահանջի 1-ի, որտեղ առաջին շերտում

Ինտերօղեր դիէլեկտրիկ շերտի վրա զոհաբերական շերտը ձեւավորելու մեթոդը պարունակում է հետեւյալ քայլերը.

Զոհաբերական նյութի շերտը ավանդի առաջին փոխկապակցված դիէլեկտրիկ շերտի վրա.

Զոհաբերական նյութի շերտը ձեւավորելու համար զոհաբերական շերտ ձեւավորելու համար:

3. Pressure նշման ցուցիչի ձեւավորման մեթոդը ըստ պահանջի 2-ի, որտեղ օգտագործվում են ֆոտոլիտոգրաֆիա եւ փորագրություն:

Զոհաբերական նյութի շերտը ձեւավորված է Etching գործընթացով:

4. Pressure նշման ցուցիչի ձեւավորման եղանակը `ըստ պահանջի 3-ի, որտեղ զոհաբերական շերտը

Նյութը ամորֆ ածխածնի կամ գերմանական է:

5. Pressure նշման ցուցիչի ձեւավորման մեթոդը `ըստ պահանջի 4-ի, որտեղ զոհաբերական շերտը

Նյութը ամորֆ ածխ է.

Զոհաբերական նյութի շերտը փորելու գործընթացում օգտագործվող գազերը ներառում են O2, Co, N2 եւ AR;

Պարամետրերը զոհաբերական նյութի շերտը ներշնչելու գործընթացում են. O2- ի հոսքի տեսականին 18 SCCM ~ 22 SCCM է, իսկ հոսքի փոխարժեքը `10%:

Հոսքի փոխարժեքը տատանվում է 90 SCCM- ից 110 SCCM, N2 հոսքի փոխարժեքը տատանվում է 90 SCCM- ից մինչեւ 110 SCCM եւ AR հոսքի փոխարժեքը:

Երկարությունը 90 SCCM ~ 110 SCCM է, ճնշման միջակայքը 90 mtor ~ 110 mtor է, իսկ կողմնակալության հզորությունը

540W ~ 660W: