Կիսահաղորդչային ճնշման սենսորները կարելի է բաժանել երկու կատեգորիայի, որոնցից մեկը հիմնված է այն սկզբունքի վրա, որ I-υ բնութագրերը կիսահաղորդչային PN հանգույցի (կամ շոտկի հանգույցի) փոփոխվում են սթրեսի պայմաններում:Ճնշման զգայուն այս տարրի կատարումը շատ անկայուն է և մեծ զարգացում չի ստացել:Մյուսը կիսահաղորդչային պիեզորեզիստիվ էֆեկտի վրա հիմնված սենսորն է, որը կիսահաղորդչային ճնշման սենսորի հիմնական տեսակն է:Վաղ օրերում կիսահաղորդչային լարման չափիչները հիմնականում ամրացվում էին առաձգական տարրերի վրա՝ տարբեր լարվածության և լարվածության չափման գործիքներ պատրաստելու համար։1960-ական թվականներին, կիսահաղորդչային ինտեգրալ սխեմաների տեխնոլոգիայի զարգացման հետ մեկտեղ, հայտնվեց կիսահաղորդչային ճնշման սենսոր՝ դիֆուզիոն ռեզիստորով, որպես պիեզորեզիստիվ տարր։Այս տեսակի ճնշման սենսորն ունի պարզ և հուսալի կառուցվածք, չունի հարաբերական շարժվող մասեր, և սենսորի ճնշման զգայուն տարրը և առաձգական տարրը ինտեգրված են, ինչը խուսափում է մեխանիկական ուշացումից և սողումից և բարելավում է սենսորի աշխատանքը:

Կիսահաղորդչի պիեզորադիմացկուն էֆեկտը Կիսահաղորդիչն ունի արտաքին ուժի հետ կապված բնութագիր, այսինքն՝ դիմադրողականությունը (ներկայացվում է ρ նշանով) փոխվում է իր կրած լարման հետ, որը կոչվում է պիեզորակայուն ազդեցություն։Դիմադրողականության հարաբերական փոփոխությունը միավորի լարվածության ազդեցության տակ կոչվում է պիեզորդիմադրողական գործակից, որն արտահայտվում է π նշանով։Մաթեմատիկորեն արտահայտված է որպես ρ/ρ = π σ.

Որտեղ σ-ն ներկայացնում է սթրեսը:Դիմադրության արժեքի (R/R) փոփոխությունը, որն առաջանում է լարվածության պայմաններում կիսահաղորդչային դիմադրության պատճառով, հիմնականում որոշվում է դիմադրողականության փոփոխությամբ, ուստի պիեզորեզիստիվ ազդեցության արտահայտությունը կարող է գրվել նաև որպես R/R=πσ։

Արտաքին ուժի ազդեցության տակ կիսահաղորդչային բյուրեղներում առաջանում են որոշակի լարվածություն (σ) և լարում (ε), և նրանց միջև կապը որոշվում է նյութի Յանգի մոդուլով (Y), այսինքն՝ Y=σ/ε։

Եթե ​​պիեզորեզիստիվ ազդեցությունն արտահայտվում է կիսահաղորդչի լարումով, ապա դա R/R=Gε է։

G-ն կոչվում է ճնշման սենսորի զգայունության գործակից, որը ներկայացնում է դիմադրության արժեքի հարաբերական փոփոխությունը միավորի լարման տակ։

Պիեզորեզիստիվ գործակիցը կամ զգայունության գործակիցը կիսահաղորդչային պիեզորեզիստիվ ազդեցության հիմնական ֆիզիկական պարամետրն է:Նրանց միջև փոխհարաբերությունը, ինչպես սթրեսի և լարվածության հարաբերությունը, որոշվում է նյութի Յանգի մոդուլով, այսինքն՝ g = π y:

Կիսահաղորդչային բյուրեղների առաձգականության անիզոտրոպիայի պատճառով Յանգի մոդուլը և պիեզորեզիստիվ գործակիցը փոխվում են բյուրեղային կողմնորոշմամբ:Կիսահաղորդիչի պիեզորեզիստիվ ազդեցության մեծությունը նույնպես սերտորեն կապված է կիսահաղորդչի դիմադրողականության հետ:Որքան ցածր է դիմադրողականությունը, այնքան փոքր է զգայունության գործակիցը:Դիֆուզիոն դիմադրության պիեզորեզիստիվ ազդեցությունը որոշվում է դիֆուզիոն դիմադրության բյուրեղային կողմնորոշմամբ և կեղտոտ կոնցենտրացիայով:Կեղտոտության կոնցենտրացիան հիմնականում վերաբերում է դիֆուզիոն շերտի մակերևութային անմաքրության կոնցենտրացիային: